东大开发在玻璃基板上溅射层积LED的技术-【zixun】
发布时间:2021-10-12 16:03:22
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来源:地坪厂家
东京大学生产技术研究所教授藤冈洋的研究室2014年6月23日宣布,开发出了在玻璃基板上用溅射法形成GaN基LED的技术。相关论文已发表在学术杂志《ScientificReports》上。除了与现有LED相比可大幅降低制造成本之外,新技术还有可能实现用无机LED制作有机EL那样的大面积发光元件。
藤冈教授的研究室在约2英寸(直径约5cm)的玻璃基板上转印了石墨烯多层膜,然后在石墨烯多层膜上用脉冲溅射法分别形成了AlN、n型GaN、由GaN与InGaN的多层构造构成的量子阱、p型GaN晶体。
藤冈表示,很早以前就开始开发利用溅射法制作LED的技术,“还没有发布过这些技术的详细内容,只是在累积经验”。
另外,藤冈研究室还在2008年开发出了在石墨片材上用“脉冲激励沉积法(PXD)”形成GaN晶体的技术。
此次在可称得上是较薄石墨片材的石墨烯片材上用溅射法形成了GaN晶体,并确认可实际发光。据介绍,分别制作了以红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)三原色发光的LED。
目前还无法检测白色发光的发光效率,以及单色状态下的外部量子效率,正在对极低温条件下的内部量子效率进行评估。藤冈教授表示,“与蓝宝石基板上制作的LED相比,内部量子效率要低好几成”。今后的课题是如何将内部量子效率提高至与现有LED相当的水平。
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